百級(jí)無(wú)塵室（ISO Class 5）和千級(jí)無(wú)塵室（ISO Class 6）之間的主要區(qū)別在于它們所能達(dá)到的潔凈度等級(jí)、粒子濃度限制以及相應(yīng)的設(shè)施配置。以下是兩者的詳細(xì)區(qū)別：1. 潔凈度等級(jí)?百級(jí)無(wú)塵室：根據(jù)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，百級(jí)無(wú)塵室對(duì)應(yīng)的等級(jí)為ISO Class 5（原FS 209E中的Class 100），表示每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過(guò)3520個(gè)。?千級(jí)無(wú)塵室：千級(jí)無(wú)塵室對(duì)應(yīng)的等級(jí)為ISO Class 6（原FS 209E中的Class 1000），表示每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過(guò)35200個(gè)。2. 粒子濃度限制?百級(jí)無(wú)塵室：在靜態(tài)條件下，每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過(guò)3520個(gè)。而在動(dòng)態(tài)條件下，這個(gè)數(shù)字會(huì)有所增加，但仍然需要控制在一個(gè)非常低的水平。?千級(jí)無(wú)塵室：同樣在靜態(tài)條件下，每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過(guò)35200個(gè)。動(dòng)態(tài)條件下，粒子濃度也會(huì)相應(yīng)增加，但比百級(jí)無(wú)塵室要寬松一些。3. 空氣處理系統(tǒng)?百級(jí)無(wú)塵室：通常使用層流（Laminar Flow）系統(tǒng)，確保空氣以均勻的速度和方向流動(dòng)，有效地去除粒子。層流系統(tǒng)能夠最大限度地減少空氣中的渦流和沉積現(xiàn)象。?千級(jí)無(wú)塵室：可以使用湍流（Turbulent Flow）系統(tǒng)，雖然效率略低于層流系統(tǒng)，但仍能有效控制粒子濃度。湍流系統(tǒng)通過(guò)高速循環(huán)空氣來(lái)保持一定的潔凈度。4. 過(guò)濾器類型?百級(jí)無(wú)塵室：使用高效空氣過(guò)濾器（HEPA）或超高效空氣過(guò)濾器（ULPA），HEPA過(guò)濾器可以去除99.99%以上的0.3微米以上的粒子，而ULPA過(guò)濾器則能去除99.999%以上的0.12微米以上的粒子。?千級(jí)無(wú)塵室：通常也使用HEPA過(guò)濾器，但在某些情況下，可能使用效率稍低的過(guò)濾器。5. 人員進(jìn)出控制?百級(jí)無(wú)塵室：人員進(jìn)入時(shí)需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的更衣程序，包括穿著全套無(wú)塵服、戴帽子、口罩、手套和鞋套，并通過(guò)風(fēng)淋室（Air Shower）進(jìn)行凈化。?千級(jí)無(wú)塵室：雖然也需要更衣和凈化，但相對(duì)于百級(jí)無(wú)塵室來(lái)說(shuō)，可能稍微寬松一些。6. 物料進(jìn)出管理?百級(jí)無(wú)塵室：物料進(jìn)出需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的凈化程序，使用傳遞窗并確保物料表面清潔。?千級(jí)無(wú)塵室：物料進(jìn)出也需要凈化，但相對(duì)于百級(jí)無(wú)塵室來(lái)說(shuō)，要求可能稍微寬松一些。7. 維護(hù)與管理?百級(jí)無(wú)塵室：需要更頻繁的維護(hù)，包括定期更換過(guò)濾器、清潔無(wú)塵室內(nèi)部、檢查設(shè)備狀態(tài)等。?千級(jí)無(wú)塵室：雖然也需要定期維護(hù)，但維護(hù)周期和要求可能相對(duì)寬松一些。總結(jié)百級(jí)無(wú)塵室和千級(jí)無(wú)塵室的主要區(qū)別在于潔凈度等級(jí)、粒子濃度限制以及相應(yīng)的設(shè)施配置。百級(jí)無(wú)塵室具有更高的潔凈度要求，適用于對(duì)粒子濃度極為敏感的高精密生產(chǎn)環(huán)境，如半導(dǎo)體制造、微電子器件生產(chǎn)等。而千級(jí)無(wú)塵室雖然潔凈度稍低，但也廣泛應(yīng)用于對(duì)潔凈度有一定要求但不必過(guò)于嚴(yán)格的領(lǐng)域。